光机械及精密计量传感

SmarAct SG系列微夹钳

德国SmarAct公司,专注于提供微纳级精密运动控制和测量高端解决方案。利用其独特的Stick-Slip驱动技术,强大的激光干涉仪检测技术,可提供从一维到多维乃至复杂的小型机器人系统,广泛应用于光学、生命科学、微组装系统、半导体和显微镜领域。

SmarAct DLS直线纳米位移台

混合驱动线性位移台,扫描范围10μm,行程21mm.

SmarAct CLS直线纳米位移台

可更换摩擦元件,压电驱动线性位移台。通过更换摩擦元件延长使用寿命,并且不牺牲性能。可达1nm分辨率。有超高真空、无磁等环境选项可选。

SmarAct MLS电磁驱动直线纳米位移台

电磁驱动线性纳米位移台。位置精度3nm,无磨损,长寿命,900mm/s高速移动。

SmarAct SLC直线纳米位移台

压电驱动线性位移台,分辨率可达1nm,可选择超高真空、无磁、低温等诸多环境选项。 17系列17mm宽8.5mm厚。 24系列24mm宽,10.5mm厚。

SmarAct CLL大行程直线纳米位移台

大行程线压电驱动性纳米位移台,有可更换驱动单元。分辨率可达1nm,滑块宽60mm,厚16mm,长度取决于行程。

SmarAct SL直线纳米位移台

超迷你,微型线性位移台,分辨率可达1nm

SmarAct SHL升降位移台

德国SmarAct公司,专注于提供微纳级精密运动控制和测量高端解决方案。利用其独特的Stick-Slip驱动技术,强大的激光干涉仪检测技术,可提供从一维到多维乃至复杂的小型机器人系统,广泛应用于光学、生命科学、微组装系统、半导体和显微镜领域。

工作原理

SmarAct粘滑驱动压电位移台配备了特定的驱动器,将宏观行程与纳米分辨率和每秒几毫米的高速结合在一起。粘滑压电驱动的工作原理如下所述。

光机械及精密计量传感插图9 压电驱动器通过永久固定在驱动器上的摩擦元件与导轨的滑块连接。压电驱动器本身固定在平台的固定基座上。
光机械及精密计量传感插图10 压电驱动器的长度与外加电压成正比。由于施加在压电陶瓷上的电压有控制的上升或降低,压电陶瓷会放大或收缩,滑块会跟随摩擦元件的运动。这个阶段称为粘固阶段(stick-phase)。
光机械及精密计量传感插图11
施加电压的急剧降低或增加将在很短的时间内导致压电陶瓷的缩短或延长,从而导致摩擦元件的快速移动。
结果,摩擦元件正在改变其位置,而滑块不跟随。这个阶段叫做滑移阶段(slip-phase)。通过重复这个步骤,可以实现滑块的宏观移动。此模式称为步进模式(Step?mode)。
光机械及精密计量传感插图12 在粘固阶段(Stick-Phase),可以通过缓慢增大或缩短压电驱动器来在亚纳米分辨率上移动滑块。

配置选件

压电位移台具有各种配置选项,如每个产品页面上的规格参数表所示。

在这里,您可以找到有关每个选件功能和优点的更深入的说明。

位置传感器(Position sensors)

Sensor Type S SC L LC I
工作原理 光栅尺 光栅尺 光栅尺 光栅尺 电感
分辨率[nm] 1 1 4 4 300
参考位 单一参考位标记 多参考位标记 单一参考位标记 多参考位标记 终点
适配控制器 MCS2,SDC2,CU MCS2 MCS2,SDC2,CU MCS2, CU EMS,CU
真空度适配 低至1 E-11 mbar 低至1 E-11 mbar 只适用大气压 只适用大气压

低至1?E-6 mbar

 

低温(Cryogenic)

针对需要非常低的温度(mK范围)的应用,我们的SLC和SR系列位移台的低温版本是使用的。详细信息请参考?Environment Specific Stages页面的低温部分内容。

真空(Vacuum)

位移台的标准配置为在大气压环境下工作。对于高真空(HV,1E-6 mbar)和超高真空(UHV,1E-11 mbar)应用,可以提供专用的配置。由于SmarAct是一家完整解决方案提供商,我们提供单维或多维系统,包括真空和超高真空兼容的电缆或穿仓器件。详细内容请查看?Environment Specific Stages?页面中关于超高真空的内容部分。

非磁性材料(Non-Magnetic Materials)

多款位移台都有非磁性版本的配置。在大多数情况下,它们的外形尺寸保持不变。详细内容请查看?Environment Specific Stages?页面中关于非磁性压电位移台的内容部分。

闭锁力(Higher Blocking Force)

闭锁力是在粘滑阶段在不打滑的情况下所能承受的最大外力。对于某些应用,当所需要的闭锁力高于产品参数表中的规格时,可以在不改变其外形尺寸的情况下,增加1.5N的闭锁力。

恒力弹簧(Constant Force Spring)

当应用需要位移台提升垂直方向安装的恒定负载时,可以集成恒力弹簧装置来补偿有效负载的重量。

U型底座(U-Shaped Base)

SLC系列的位移台也拥有U型底座的型号,而不是矩形标准底座。这种特殊的形状大大提高了位移台的机械强度。由于U型底座的尺寸不同,位移台本身的宽度将增加6毫米,不过安装孔的形式和标准型号一致。

光机械及精密计量传感插图13 光机械及精密计量传感插图14
SLC系列位移台-标准底座 SLC系列位移台-U型底座

SmarAct线性位移台根据不同场合的需求,用于一系列针对性的高精度线性位移台解决方案。

SmarAct DLS直线纳米位移台

混合驱动线性位移台,扫描范围10μm,行程21mm.

SmarAct CLS直线纳米位移台

可更换摩擦元件,压电驱动线性位移台。通过更换摩擦元件延长使用寿命,并且不牺牲性能。可达1nm分辨率。有超高真空、无磁等环境选项可选。

SmarAct MLS电磁驱动直线纳米位移台

电磁驱动线性纳米位移台。位置精度3nm,无磨损,长寿命,900mm/s高速移动。

SmarAct SLC直线纳米位移台

压电驱动线性位移台,分辨率可达1nm,可选择超高真空、无磁、低温等诸多环境选项。 17系列17mm宽8.5mm厚。 24系列24mm宽,10.5mm厚。

SmarAct CLL大行程直线纳米位移台

大行程线压电驱动性纳米位移台,有可更换驱动单元。分辨率可达1nm,滑块宽60mm,厚16mm,长度取决于行程。

SmarAct SL直线纳米位移台

超迷你,微型线性位移台,分辨率可达1nm

SmarAct SHL升降位移台

德国SmarAct公司,专注于提供微纳级精密运动控制和测量高端解决方案。利用其独特的Stick-Slip驱动技术,强大的激光干涉仪检测技术,可提供从一维到多维乃至复杂的小型机器人系统,广泛应用于光学、生命科学、微组装系统、半导体和显微镜领域。

光机械及精密计量传感插图15

SmarAct SR高精度旋转台

德国SmarAct公司,专注于提供微纳级精密运动控制和测量高端解决方案。利用其独特的Stick-Slip驱动技术,强大的激光干涉仪检测技术,可提供从一维到多维乃至复杂的小型机器人系统,广泛应用于光学、生命科学、微组装系统、半导体和显微镜领域。

SmarAct SGO角位移台

德国SmarAct公司,专注于提供微纳级精密运动控制和测量高端解决方案。利用其独特的Stick-Slip驱动技术,强大的激光干涉仪检测技术,可提供从一维到多维乃至复杂的小型机器人系统,广泛应用于光学、生命科学、微组装系统、半导体和显微镜领域。

SmarAct SG系列微夹钳

德国SmarAct公司,专注于提供微纳级精密运动控制和测量高端解决方案。利用其独特的Stick-Slip驱动技术,强大的激光干涉仪检测技术,可提供从一维到多维乃至复杂的小型机器人系统,广泛应用于光学、生命科学、微组装系统、半导体和显微镜领域。

SmarAct SFW电动滤光片轮

德国SmarAct公司可提供各类电动控制光机产品,镜架、光阑、滤光片轮等。精度高且可用于真空远程调节,也可闭环控制,通过软件可实现自动控制。

SmarAct控制器及系统

德国SmarAct公司微纳位移台和系统以及电动光机产品等,可通过HCU/CU控制器,MCS控制器进行开/闭环控制。提供各种接口和封装应用于不同场景,也可提供手动摇杆控制方式方便进行调节。

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